國產28nm製程設備完成認證 明年進軍14/7nm

• 2021 年 7 月 8 日
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• 28nm, 半導體

日前中國半導體設備公司至純科技在互動平台表示，目前至純科技28納米節點全部濕法製程設備已認證完畢。

至純科技表示，中國目前有三家在濕法製程設備端提供中高階濕法製程設備，分別是至純科技、北方華創和盛美，中國廠商的市場佔比在逐年上升中。

除了28nm製程節點之外，上海證券報告中指出，至純科技14nm及7nm製程預計2022年可供客戶驗證，客戶包括中芯國際、華虹集團、長鑫存儲、華為、台灣力晶等行業領先者。

2020年濕法設備出貨量超過30台，新增訂單5.3億元，增長211.8%。

官網介紹，至純科技成立於2000年，是一家在上交所上市的高新技術企業，證券程式碼603690.SH。

公司坐落於上海紫竹這個國家級科學園區內，註冊資本2.08億元，致力於為高端先進位造業企業提供高純製程系統的解決方案。

系統解決方案涵蓋了提供整個系統的設計、選型、製造、安裝、測試、調試和系統託管服務。 至純提供的系統和專業服務，廣泛應用於半導體、微電子、生物醫藥、光伏、光纖、TFT-LCD、LED等領域。