全球EUV光刻專利哪家強？三星超過ASML 第一想不到

在半導體工藝進入7nm之後，EUV光刻機就成為兵家必備大殺器了，全球也只有ASML公司能生產，單價達到10億人民幣一台。不過在EUV技術上，ASML還真不一定就是第一，專利比三星還少。

韓國媒體報道，近年來韓國企業及科研機構在EUV光刻工藝大舉投入，專利技術上正在跟國外公司縮短差距。

據報道，在2011到2020年的專利申請中，向韓國知識產權局(KIPO)提交的與EUV光刻相關的專利申請數量達到88件的峰值，2018年達到55件，2019年達到50件。

其中2019年中韓國本土公司提出的EUV專利申請為40件，超過了國外10件，這也是韓國提交的EUV專利首次超過國外公司。

在2020年中，韓國公司提交的EUV專利申請達到了國外的2倍多，其中三星公司是最多的，該公司今年已經開始使用5nm EUV工藝生產手機處理器。

從全球來看，TOP6的廠商申請的EUV專利佔了全部的59%，其中卡爾蔡司佔比18%（畢竟光學物鏡是EUV核心），位列第一，三星緊隨其後，專利申請佔比18%，ASML公司佔比11%，位列第三。

再往下，韓國S&S Tech佔了85，台積電佔了6%，SK海力士佔了1%。

從具體技術項目看，工藝技術申請專利占32%，曝光裝置技術申請專利占31%，掩膜技術申請專利占28%，其他申請專利占9%。

在工藝技術領域，三星電子占39%，台積電占15%。

在光罩領域，韓國S&S科技占28%，日本Hoya占15%，韓國漢陽大學占10%，日本朝日玻璃占10%，三星電子占9%。