搶先下單19億一台的下代EUV光刻機 Intel表態：有B計劃

• 2022 年 2 月 22 日
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• CPU處理器, 極紫外光刻, Intel

做為IDM 2.0戰略的一部分，Intel上周公布了野心勃勃的產品及技術製程圖，其中先進製程的升級換代非常激進，不到4年內就要升級5代製程，而且從2025年開始的新一代製程開始會首發新一代的EUV光刻機，價格超過19億一台。

Intel之所以這麼激進，是因為在搶先使用EUV製程上吃過虧，他們原本計劃在10nm節點就上EUV製程的，但是EUV光刻機當時還不成熟，隨後被台積電、三星搶先了，陰差陽錯之下製程落後了。

Intel現在的計劃是在Intel 4製程（之前的7nm製程）中使用EUV光刻機，計劃今年下半年投產，首發產品是2023年的14代CoreMeteor Lake處理器。

現在的EUV光刻機還是NA 0.33技術的，Intel的重點押注在了下一代EUV光刻機，也就是NA 0.55的ASML新一代光刻機，據說成本高達3億美元，約合19億元。

實際上4年來Intel實際上已經下單了6台NA 0.55的EUV光刻機，其中分為兩種，Twinscan Exe:5000系列主要用於製程研發，產能輸出是185WPH，每小時生產185片晶圓，2023年上半年交付。

量產型的NA 0.55光刻機是Twinscan Exe:5200，產能提升到200WPH，每小時200片晶圓，預計會在2024年下線，Intel的20A製程正好是在2024年量產。

不過Intel這次搶先下單不怕下代EUV光刻機延期嗎？對於這個問題，主管Intel製程技術的高層Ann Kelleher日前在採訪中也談到了這個可能性，但她表示就算延期了也不會讓公司破產，而是有個B計劃。

至於Intel的B計劃怎麼解決新一代EUV光刻機跳票問題的，這就沒有明確資訊了。