三星EUV極紫外光刻工廠量產：7/6/5/4/3nm都能用

• 2020 年 2 月 21 日
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三星宣布，位於韓國京畿道華城市的V1工廠已經開始量產7nm 7LPP、6nm 6LPP製程，這也是全球第一座專門為EUV極紫外光刻製程打造的代工廠。

據介紹，三星7LPP、6LPP製程主要生產先進的移動SoC晶片，本季度內陸續出貨，具體客戶均未披露，不過看起來7LPP會是對外代工主力，6LPP則可能是三星自用，或者僅限特定客戶。

按照三星的說法，6LPP相比於7LPP可將電晶體密度增加約10％，並降低功耗，但彼此互相兼容，針對7LPP製程設計的IP可以直接復用，從而大大降低成本。

在路線圖上，三星還規划了5LPE、4LPE、3GAE、3GAP等更先進的製程，都會使用EUV極紫外光刻，其中5nm、4nm都可以算作7nm製程的深度升級，3nm則是全新設計。

高通剛剛發布的第三代5G基頻驍龍X60就採用三星5nm製程製造，3nm則會在今年完成開發，放棄使用多年的FinFET電晶體架構。

三星V1工廠2018年2月開工建設，2019年下半年開始試產，未來將迅速擴大產能，到今年底7LPP EUV和更新製程的總產能將是去年底的三倍，累計投資也將達60億美元。