突然斷電0.101秒!台積電等受衝擊 又有晶圓要報廢?
據台灣媒體報道,台灣新竹科學園區於3月1日下午15時18分發生大規模電力壓降,起因是晶圓代工廠力積電主變壓器跳脫故障,導致力積電與鄰近的台積電、世界先進、友達等大廠生產都受影響,受創產業涵蓋半導體、光電兩大領域,實際損失仍待清查。
台灣新竹科學園區管理局局長王永壯表示,竹科昨天下午發生0.05秒到1秒之間的電壓下降(C級壓降)事故,竹科內廠商測得壓降幅度介於79%至95%之間,半導體製程的敏感機台大多有不斷電系統(UPS)保護,其餘機台則會跳脫電力,啟動保護程式。
業界人士指出,半導體廠發生壓降時,黃光區有電壓穩定裝置,不致發生晶圓報廢情況,但薄膜、擴散、 蝕刻區的風險較大,可能會全面報廢。
以昨天壓降幅度介於79%至95%之間來看,等於是「斷電」,即便時間不到1秒鐘,仍會對半導體廠商造成影響。
台電新桃供電區營運處表示,昨天下午的電力事故,並非台電的輸電系統造成,而是竹科內特高壓(161kV)用戶的電力設備故障所導致。
台電舉例指出,這類電力事故影響所及,有如在池塘投入石頭,漾起一圈圈的漣漪,愈接近石頭落水處的區域,壓降幅度愈大。
據了解,昨天壓降意外起因於位於竹科三期的力積電主變壓器跳脫故障,導致發生電壓下降波及竹科新竹園區及新竹市東區。什致跨越頭前溪,影響到新竹縣的竹北台元科技園區、竹科生醫園區,乃至於位於湖口的新竹工業區。
對此,力積電回應,壓降時間相當短暫、僅0.101秒,部分較敏感的生產機台有跳掉,正在查明原因,但跳電時間短暫、機台也快速重啟,對生產影響有限。
晶圓代工大廠台積電昨日指出,公司部分廠區昨下午受電力壓降影響,歷時約50至100多毫秒不等,壓降發生原因尚待台電釐清。廠內同仁無安全疑慮,實際影響確認中。
聯電錶示,生產營運未受影響。
世界先進也坦言,旗下新竹廠區有部分機台因壓降而受影響,目前已依標準作業程式進行檢查與復原,對於公司生產營運的影響正在評估中。
友達則說,昨天壓降意外導致廠區部分機台異常,已於晚間恢復,廠務運作正常,人員均安。
另一面板大廠群創竹科生產基地主要位在竹科竹南園區,未受此次事件影響。