Intel CPU晶片工廠已有多台EUV生產設備 數量保密
過去幾年中Intel在晶片製程上被認為落後於台積電、三星，一個重要原因就是沒有及時跟進EUV製程，讓兩家對手搶先量產了7nm、5nm等製程，不過Intel這一年來變化很大，也對EUV光刻製程上心了，加速推進新製程量產。
Anandtech網站的核心編輯𝐶𝑢𝑡𝑟𝑒𝑠𝑠 𝐶𝑢𝑡𝑟𝑒𝑠𝑠日前受邀參觀了Intel在俄勒岡州的D1X工廠，他表示在那裡看到了一些EUV生產設備，不過具體有多少就不能說了，顯然這是Intel的商業機密，不能對外透露。
1月底，Intel宣布了一批EUV設備進廠，不過當時進場安裝的是歐洲愛爾蘭的Fab 34晶圓廠，那是一台光刻膠顯影設備(lithography resist track)，將與EUV極紫外掃描儀搭檔，首先為硅晶圓覆上精密的塗層，然後進入EUV掃描儀，進行曝光，接著晶圓回到光刻設備，再進行一系列的高精密光顯影、清理操作。
愛爾蘭的Fab 34晶圓廠未來會量產Intel 4製程，也就是之前的7nm製程，這是Intel首個使用EUV光刻機的製程，2023年的14代CoreMetor Lake處理器會首發該製程。
不過Intel在EUV光刻機上的野心很大，重點會放在下一代EUV光刻機上，已經搶先訂購了NA 0.55高數值孔徑EUV光刻機，據說成本高達3億美元，約合19億元。
相比目前NA 0.33的EUV光刻機，Intel購買的新一代光刻機可以量產更先進的CPU製程，未來的20A、18A製程都會用上，最快2025年量產。
