Intel爽了！ASML新一代EUV光刻機來了：造價、配置無敵

據外媒最新報道稱，ASML已經開始製造新一代極紫外（EUV）光刻機，其每台造價達到了1.5億美元，約合人民幣近97億元。

據悉，在位於美國康涅狄格州郊區的一間大型潔凈室里，ASML工程師們已經開始為一台機器製造關鍵部件，這台機器有望讓晶片製造行業沿著摩爾定律至少再走上10年時間。

新一代極紫外光刻機大約有一輛公共汽車那麼大，造價1.5億美元。整個機器包含10萬個部件和2公里長的電纜。每台機器發貨需要40個集裝箱、3架貨機或者20輛卡車。只有諸如台積電、三星和Intel等少數公司能買得起這種機器。

「這真是一台不可思議的機器，」麻省理工學院研究新型電晶體架構的教授 Jesús del Alamo 說。「這絕對是一款革命性的產品，是一項突破，將給晶片行業帶來新的生命。」

造好的組件將於2021年底運往荷蘭維荷芬，然後在2022年初安裝到新一代極紫外光刻機的第一台原型機中。Intel可能會使用這種新機器製造出第一批晶片。

Intel表示，預計將在2023年下線第一批晶片。憑藉比以往任何機器所蝕刻的圖案尺寸更小，讓每個晶片都有數百億個元件，這台機器在未來幾年所生產的晶片應該是史上處理速度最快、效率最高的。

值得一提的是，新一代極紫外（EUV）光刻機採用更大的數值孔徑來進一步縮小晶片上的元件尺寸。這種方式允許光線以不同角度穿過光罩，從而增加圖案成像的解析度。這就需要更大的鏡子和新的軟硬體來精確控制組件蝕刻。

ASML當前一代極紫外光刻機可以製造出解析度為13nm的晶片。新一代極紫外光刻機將使用更高數值孔徑來製作8nm大小的特徵圖案。

目前台積電在晶片製造過程中使用的就是極紫外光刻技術。其客戶包括蘋果、NV和Intel。