ASML EUV光刻機累計生產450萬塊晶圓：一台12億元

截至目前，華為麒麟990 5G是唯一應用了EUV極紫外光刻的商用晶片，台積電7nm EUV製程製造，而高通剛發布的驍龍765/驍龍765G則使用了三星的7nm EUV製程。

EUV技術能夠落地商用，背後離不開荷蘭巨頭ASML(阿斯麥)，整個EUV光刻機市場已經被他家壟斷，現在的7nm製程節點如此，未來的5nm、3mm節點也會如此。

近日，ASML公布了一些有關EUV的有趣數據。

其實早在2013年，ASML EUV光刻機就投用了，但頭幾年一直都是試驗、試產性質，累計300毫米晶圓產量直到2017年才達到110萬塊，2018年又生產了90萬塊，2019年至今累計已達450萬塊，算下來從2016年到現在年複合增長率高達95％。

其實，全球已部署投產的EUV光刻機也沒多少，直到2016才不過區區10台，2018年增加了17台，2019年上半年增加了11台，目前總共38台。

目前投產的EUV光刻機型號都是NXE:3400B，下半年將迎來新的升級版NXE:3400C，每小時可生產最多175塊300毫米晶圓——2014年的時候可是每小時智慧生產10塊左右。

NXE:3400C最大變化是模組化設計，維護更加便捷，平均維修時間將從48小時縮短到8-10小時，支援7nm、5nm。

ASML的下一代EUV光刻機將是EXE:5000系列，面向台積電3nm、Intel 5nm製程，引入High NA(高數值孔徑)透鏡，從0.33轉向0.55，以匹配更先進的製造製程，預計2023年上市。

至於這種EUV光刻機有多貴，據說三星不久前訂購了15台，總價值3萬億韓元，摺合人民幣約180億元，那麼一台就是12億元，堪稱史上最貴半導體設備了。