日本Canon 、Nikon 為何造不出EUV光刻機？ASML揭曉真實原因

• 2021 年 3 月 16 日
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• 光刻機, 極紫外光刻, 阿斯麥

ASML已經成為了全球第一大光刻機廠商，而且最頂尖的EUV光刻機更是獨家壟斷。

日前與媒體交流時，ASML技術開發副總裁Tony Yen確認了此前外界的猜測，他表示EUV光刻機目前有三大客戶，分別是台積電、三星和Intel。

至於同樣製造光刻機的日本Canon 、Nikon 為何在EUV上掉隊，Yen指出，我們從2000年左右開發EUV，並決定大批量生產這種光刻機。

日本人沒有這麼做，因為他們覺得系統太複雜。實際上，我們當時也不是100%確信EUV光刻機會成功。

當然，Yen提到，EUV光刻機的成功還有蔡司、Cymer(已被ASML收購)等企業參與，其中蔡司獨家向ASML出售半導體相關的曝光產品。

據官方披露的數據，去年全球光刻機總銷售量為413台，其中ASML銷售258台佔比62%，Canon 銷售122台佔比30%，Nikon 銷售33台佔比8%。從光刻機類型來看，Nikon 出貨的主要是ArF immersion、ArF dry，Canon 主要是KrF、i-line（份額69%）。