華為+中科院攻關EUV光刻機?ASML華裔工程師:天方夜譚

9月16日,中國科學院院長白春禮在國新辦發布會上介紹稱,「率先行動」計劃第二階段要把美國「卡脖子」的清單變成科研任務清單進行布局,集中全院力量聚焦國家最關注的重大領域攻關。

白春禮稱,從2021年到2030年未來的十年是「率先行動」計劃第二階段。對此,首先要進行體制機制改革。他稱,目前已經設立了創新研究院、卓越創新中心、大科學中心和特色所四類機構,目的是根據科研性質不同進行分類定位、分類管理、分類評價、分類資源配置。

「這個工作還沒有完,只是進行了一部分,所以第二階段我們爭取在2025年要把四類機構全部做完,全院100多研究所重新定位為90個左右的四類機構,這樣就完成了全部的體制機制改革。」白春禮補充。

此外,白春禮還表示,面臨美國對中國高科技產業的打壓,未來十年將針對一些卡脖子的關鍵問題做一些新的部署。他強調,後續科學院將在「率先行動」的第二個階段目標中, 「將『卡脖子』的問題和國外出口管制的清單轉化為我們的任務清單。」

在中科院表態支援針對「卡脖子」問題進行攻關之後,9月17日下午,華為技術有限公司CEO任正非一行來訪中國科學院,與中科院的專家學者們舉行了座談交流會,就基礎研究及關鍵技術發展進行了探討交流。

在工作會談中,任正非簡要介紹了華為公司近年來取得的進展及未來的發展戰略。他表示,中科院作為國家在科學技術方面的最高學術機構,學科整體水平已進入世界先進行列,基礎研究和綜合交叉優勢明顯,為國家發展做出了重要貢獻;建議科學家們繼續保持對科研的好奇心,國家進一步加大對數理化和化學材料等基礎研究的投入,推動產出更多重大科研成果;華為非常重視與中科院的合作,希望雙方在現有合作基礎上,針對新時期中國國際雙循環相互促進發展的新格局,以更加開放的態度加強各個層面的科技交流,向基礎性科學技術前沿領域拓展,共同把握創新機遇,推動科學家思想智慧和研究成果轉化為經濟社會發展的強大動力,共同為創造人類美好未來做出更大貢獻。

白春禮表示,中科院與華為公司有著廣泛深厚的合作基礎,已經開展了多層次、寬領域的務實合作,併產出了有顯示度的成果。他表示,作為國家戰略科技力量,中科院正在認真貫徹落實習近平總書記提出的「三個面向」「四個率先」要求,深入實施「率先行動」計劃;目前已完成「率先行動」計劃第一階段的總結評估,正在緊鑼密鼓地謀劃第二階段的工作,堅持問題導向、目標導向、成果導向,聚焦國家重大戰略需求,為促進經濟社會發展提供有力科技支撐。他表示,華為是中國的品牌,更是民族的驕傲,取得了非凡的成就。他希望雙方繼續緊密合作,充分集聚中科院科技創新資源和華為企業優質資源,圍繞未來技術發展趨勢,探索科技前沿,共同促進經濟社會高品質發展。

對於中國科學院院長白春禮要把美國「卡脖子」的清單變成科研任務清單進行公關的表態,以及華為創始人兼總裁任正非突然對於中科院的拜訪,外界有網友猜測,華為將會與中科院攜手,攻關EUV光刻機技術。

雖然,中國的上海微電子(SMEE)已經有90nm光刻機,並且傳聞28nm光刻機明年就能推出。但是,其與ASML的EUV光刻機仍差距巨大。

而在此之前,業內就已有傳聞稱華為正在研發更為先進的EUV光刻機,而中科院在光刻機的關鍵技術和器件領域早已有相關布局。比如中科院長春光機所在光刻機所需的透鏡及曝光系統上早已有突破,而最新的消息也顯示,長春光機所在實驗室已經搭建出了一套EUV光源設備。

那麼,華為攜手中科院,能夠在EUV光刻機上實現突破嗎?

華為+中科院攻關EUV光刻機?ASML華裔工程師:天方夜譚

對於中國光刻機未來的發展,近日一位自稱是ASML華裔工程師的網友在網上發表了自己的看法。以下為原文:

大陸的半導體代工企業大概什麼時候能超過台積電?這個問題是說十年內,二十年內還是一百年內?

我目前就在ASML公司工作,做的就是最新一代的EUV光刻機。這麼說吧,咱們先別說把(EUV)光刻機給造出來,就是把(EUV)光刻機給用好都是一件無比複雜的事情。

台積電算是我們的客戶,我很佩服台積電的工程師或者說他們整個的體系。他們對光刻機的使用達到了某種讓人欽佩的高度,多的東西涉及到保密不能談。

打個比方,如果台積電是美國海軍擁有十艘十萬噸級核動力航母,中國晶片製造商大概就是中國海軍,而且是在遼寧艦未拖進港時期的中國海軍。

你說中國會不會有朝一日造出十萬噸級別的核動力航母?這個當然有可能,但是什麼時候能造出來,這個真的不好說,需要天時地利人和都具備了才行。

這些條件包括或者可能包括:

國家要下大決心,要做好十幾年甚至二十年一直虧錢的準備;外部技術封鎖要有些鬆動(包括各種光學器件、光刻機、光刻膠等等……);要有一流人才願意給中國效力(比如錢學森這種大牛);需要大量從業的工程師來進行過渡;三星、Intel,台積電的某一家要出一個大問題,倒閉或者破產,這樣能讓出市場份額,給予中國公司發展機會;新技術恰好在國家大力投入的時候興起(實現彎道超車);

講句心裡話,有這個錢重新在中國建立起一家台積電一樣的公司,還不如用這個錢直接收編台積電。從成本上來看,後者很可能更加便宜。

要我說,台積電這種巨無霸如果不是遇到晶片製造的重大革命,或者其他危機,中國企業很難超越!

我總有一種朦朦朧朧沒有根據的感覺,我覺得未來的晶片很可能不是矽片,而是碳,是石墨烯的某種應用。

所以,如果從大的籠統的方面來說,中國用新的晶片製造技術超越台積電還是可能的。

大家可能對所謂晶片製造不太了解。這麼說吧,如果歐洲一夜之間蒸發了,美國想要重新造出性能相似的光刻機來,至少需要五年!

所以中國要造新型EUV光刻機並不是中國單挑美國,而是中國單挑外國!別的不說,高性能的濾光片,對極端紫外線高反射率的鍍膜,耐用的商業雷射器……沒有一個是中國自己能夠造出來的!更確切的說,不是中國造不出來,而是美國有很多也造不出來!

鍍膜、濾光片、半反半投鏡……這些技術低性能也就罷了,高性能的產品都是一年一年試出來的,歐洲起步早,試驗的多就是世界最強!

中國起步晚,短時間內就是造不出來。因為,沒有這些基礎器件,談造EUV光刻機就是天方夜譚!

所以造光刻機跟造航母不一樣,航母並沒有在全球的產業鏈裡面。而光刻機是全球產業鏈整合出來的產品。針對中國的技術封鎖如果沒有鬆動,需要重複做的事情太多,絕非十年二十年,靠中國單打獨鬥能成的。

假如大家還覺得市場、錢、政策能夠大躍進式地造出光刻機,那就是絕對錯誤的認識。

我覺得吧,承認某些東西自己確實不行,努力也不行,需要外國幫助,也不是什麼壞事。盲目樂觀才會斷送自己的前程。

當然EUV作為新一代的技術能夠實現7nm、5nm的光刻,雖然更加先進,但是如果真的台積電被迫不能給中國(內地)代工,我們依然可以使用老一點的技術。使用老一點的技術也足以保證中國正常的需要。這也是為什麼國家在這個領域沒有那麼大的動力和決心的一個原因。

總之呢,EUV光刻機可以看作是美元霸權的衍生品。美元霸權還在,中國就無法在這一領域取得重大突破。當且僅當EUV光刻機所需的基礎配件能夠自由進口到中國的時候,中國才有可能在這個領域有突破。

最後,我再強調一個概念!可以商用化的產品跟實驗室里能夠實現之間差了十萬八千里!實驗室里實現的意思是不考慮成本,不考慮穩定性,能夠有那麼一次或者兩次做成。

商用產品的概念是:穩定、高效、可控、能賺錢!

就EUV光刻機來說,中國做得最好的大概是長春光機所,也就是搭建了一套實驗室的EUV光源設備,而且從技術的實現來看,他們選擇了另外一條技術路線,EUV輸出的可控性必然不足,商業化依然有巨大瓶頸。至於ASML現階段的技術,就算中國造出一模一樣的東西來,還有專利的麻煩在那裡,要規避這一堆專利而商業化幾乎做不到。

這東西跟航母、戰鬥機不一樣。航母,戰鬥機你就算仿造別人的也沒法起訴侵犯專利。光刻機你要是用同樣的原理,光是賠專利侵權就要傾家蕩產。

總之呢,如果技術不革新,這一塊兒中國想要後來者居上幾乎做不到。至於台積電,它是使用EUV光刻機的廠商,如果大陸都沒有EUV光刻機可用,談什麼超越台積電呢?