美國向荷蘭施壓！對中國禁售EUV光刻機之後 DUV也不放過

7月6日消息，據彭博社援引知情人士的消息透露，美國正在推動荷蘭政府禁止光刻機龍頭ASML向中國大陸出售對製造大部分芯片都至關重要的主流技術產品（包括DUV光刻機），以擴大其遏制中國大陸崛起的行動。

美國提出的限制，將擴大現有的向中國大陸出售最先進系統的暫停期限，以阻止中國大陸成為世界芯片生產領導者的計劃。

如果荷蘭同意，這將大大擴大現在禁止進入中國大陸的芯片製造設備的範圍和類別，這可能對從中芯國際到華虹半導體等中國大陸芯片製造商造成嚴重的衝擊。

知情人士稱，美國官員正在遊說荷蘭政府，禁止ASML出售其深紫外光刻系統（DUV）。這些機器落後於目前尖端的EUV光刻機一代，但仍然是製造汽車、手機、計算機甚至機械人所需的某些不太先進的芯片的最常見的光刻設備。

報道稱，美國商務部副部長唐·格雷夫斯（Don Graves）在5月底和6月初，與荷蘭和比利時政府的代表以及歐盟委員會和私營企業代表會面，討論共同關心的地緣政治和跨大西洋貿易問題，包括半導體生產，確保供應鏈安全的聯合工作，以及針對俄羅斯的出口管制合作。

在此次訪問中，格雷夫斯也訪問ASML在Veldhoven的總部，並會見了ASML的首席執行官Peter Wennink。

知情人士要求不具名，因為這些討論是私人的。

知情人士稱，荷蘭政府尚未同意對ASML向中國大陸芯片製造商出口的任何額外限制，因為這可能會損害該國與中國的貿易關係。

目前ASML已經無法向中國大陸出售其最先進的極紫外（EUV）光刻系統，單台售價高達1.6億歐元（1.64億美元），因為它無法獲得荷蘭政府的出口許可證。

值得一提的是，在此之前，美國共和黨眾議員麥考爾（Michael McCaul）和魯比歐（Marco Rubio）曾多次聯合致信美國商務部長雷蒙多（Gina Raimondo），要求拜登政府勸說荷蘭政府阻止ASML向中國大陸出售DUV光刻機。

在美國推動荷蘭擴大ASML光刻機對中國大陸出口限制之際，美國總統喬·拜登單獨考慮了放鬆了特朗普時代的一些針對中國大陸消費品的關稅。雖然在兩國關係緊張之際，中國大陸可能會歡迎這樣的舉動，但拜登政府仍在繼續努力限制中國大陸獲得美國技術。

對此，美國商務部和荷蘭外交部拒絕置評。

「該討論並不新鮮。目前（荷蘭政府）沒有做出任何決定，我們不想猜測或評論謠言。「ASML發言人說。

ASML是世界頂級的光刻系統製造商，這些設備是製造半導體的過程中極為關鍵的部分。ASML在全球光刻機市場佔據着主導地位，這也意味着進一步限制ASML光刻機對中國大陸的出口，將會打擊中國大陸發展本土芯片製造業，提升芯片自給率的雄心壯志。

總部位於亞洲的Hinrich基金會研究員亞歷克斯·卡普里（Alex Capri）說：「中國大陸在全球芯片設備市場的份額可以忽略不計，」他將芯片生產描述為中國大陸擴大其半導體實力計劃的「瓶頸」。

雖然DUV光刻機的能力不如更先進的EUV光刻機，但在製造目前正在經歷嚴重短缺的許多類型的芯片時仍然是不可或缺的。知情人士說，美國正致力於推動荷蘭禁止ASML向中國大陸銷售其最先進的DUV技術，主要是浸沒式光刻機。

其中一位知情人士說，美國官員還試圖向日本施加壓力，要求日本光刻機供應商停止向中國大陸芯片製造商銷售同樣的技術的光刻設備。日本的尼康公司在這一領域與ASML也存在着競爭。

對此，尼康發言人表示：「我們沒有關於此事的信息。」

根據ASML的財報顯示，2021年ASML來自光刻系統方面的營收為136.53億歐元，總共銷售了287台光刻系統。其中ArFi光刻系統為81台，銷售額佔比36%。而尼康的財報則顯示，其2021年僅銷售了4台ArFi光刻系統。這也顯示，ASML在ArFi光刻系統市場的市佔率高達95%。

另外，從光刻系統最終出貨地來看，2021年中國大陸地區貢獻的銷售額在ASML的總營收當中的佔比為16%。

荷蘭首相馬克·呂特說6月，他反對重新考慮與中國大陸的貿易關係，並呼籲歐盟制定自己的北京政策。中國大陸是荷蘭的第三大貿易夥伴，僅次於德國和比利時。

△荷蘭首相馬克·呂特

ASML CEO Peter Wennink今年早些時候也曾表示，不希望禁止向中國大陸客戶銷售DUV光刻設備，因為它已經是一項成熟的技術。

△ASML CEO Peter Wennink

美國阻止芯片製造設備出口的努力始於特朗普政府。美國當時向荷蘭政府施壓阻止了EUV光刻系統的對華銷售，該系統需要生產最先進的半導體，而荷蘭ASML目前則是全球唯一的供應商。

美國主要芯片設備製造商，包括應用材料公司和泛林集團已經被禁止，向已被美國列入實體清單的中芯國際銷售某些先進產品。

潛在的DUV禁令可能會進一步打擊中芯國際及其其他中國大陸芯片製造商，同時也將會對全球頭部的半導體設備製造商帶來不利影響。因為一條半導體生產線如果缺少關鍵的光刻機，那麼其他設備自然也就失去了作用。

SEMI的數據也顯示，2021年中國大陸市場半導體銷售額高達296.2億美元，同比增長58%，為全球最大的半導體市場，佔比高達28.9%。

「光刻設備是中國大陸在半導體製造方面最難替代的設備。」台灣經濟研究所（Taiwan Institute of Economic Research）分析師王強森（Johnson Wang）說。「如果沒有光刻設備，中國大陸芯片產業的進步可能會停滯不前。」

在彭博社發佈該消息之後，ASML的美國存托憑證跌幅擴大到了8.3%，這是自2020年3月以來的最大盤中跌幅，此前彭博社發佈了初步報告。