打造下一個ASML？荷蘭投資77億元研發硅光子芯片技術

• 2022 年 4 月 22 日
• 資訊
• CPU處理器, 極紫外光刻, 阿斯麥

目前的硅基半導體芯片在進入10nm之後越來越難以生產，預計2nm到1nm節點就有可能面臨無法繼續的問題，半導體行業也在積極開發新技術，比如硅光子芯片技術，而ASML公司所在的荷蘭就大舉投資77億元研發硅光子技術。

在硅基芯片時代，ASML公司最終成為半導體行業中的王者，尤其是EUV光刻機獨一份，5nm及以下節點都要依賴ASML的EUV光刻機，現在售價就要10億一台了，再下一代的高NA光刻機售價要漲到19億以上了。

如果未來硅光子芯片快速取代硅基芯片，那ASML公司顯然會失去領先的地位，這也是為什麼荷蘭巨資投資硅光子技術引人注意的關鍵，希望下一個ASML還是掌握在他們手裡。

根據他們的投資計劃，總投資為11億歐元，約合77.3億人民幣，其中4.71億歐元的投資來自荷蘭政府，接下來是荷蘭的兩所大學Eindhoven理工大及Twente大學，資金則會由荷蘭基金機構Delta Photon 負責管理。

據悉，跟現在的硅基芯片相比，硅光子芯片是基於硅和硅基襯底材料（如 SiGe／Si、SOI 等），利用現有 CMOS 工藝進行光器件開發和集成的新一代技術，結合了集成電路技術的超大規模、超高精度製造的特性和光子技術超高速率、超低功耗的優勢，被認為是摩爾定律失效之後的顛覆性技術。

目前主要的半導體大國都在積極研發硅光子技術，其中Intel、IBM等公司在這個領域已經取得重要進展，國內也在大力發展硅光子技術。